有機(jī)廢氣主要有吸收法、吸附法、焚燒法、生物法等處理技術(shù)。吸收法是利用有機(jī)氣體水溶性的特性，且添加次氯酸鈉或過氧化氫等氧化劑，將有機(jī)廢氣中的有機(jī)氣體去除。此方法因添加氧化劑不但處理成本增加，且易形成二次污染，故吸收法未得到普遍應(yīng)用。生物處理法是利用微生物的代謝作用，將污染物分解成無害物質(zhì)。生物處理法運(yùn)行費(fèi)用低，二次污染小，但處理?xiàng)l件嚴(yán)、持續(xù)時(shí)間長，占地面積大，故實(shí)際應(yīng)用較少。焚燒法是利用高溫焚燒過程將有機(jī)廢氣轉(zhuǎn)換成CO2與H2O，根據(jù)廢氣的焚燒溫度可分為750攝氏度-850攝氏度的焚燒化與350攝氏度～450攝氏度觸媒焚化二類，因觸媒式易造成觸媒毒化，故很少采用這種方法。吸附法是利用高孔隙率、高表面積的吸附劑，將廢氣中的有機(jī)氣體分子分離，而凈化有機(jī)廢氣。適用于集成電路產(chǎn)業(yè)的有機(jī)廢氣處理方法有吸附法和焚燒法。

    有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)由高溫轉(zhuǎn)輪裝置和活性炭吸附裝置構(gòu)成。有機(jī)廢氣通過預(yù)過濾器，除去灰塵顆粒，保護(hù)下游的設(shè)備；通過原氣體冷凝器，除去高沸點(diǎn)有機(jī)物甲基乙基酮MEA，保護(hù)高溫轉(zhuǎn)輪裝置內(nèi)的吸附劑；通過加熱器，加熱冷凝后的有機(jī)廢氣至30。C左右，這樣可以提高有機(jī)物吸附率；接著通過G—AC過濾器，再次過濾去除高沸點(diǎn)有機(jī)物。廢氣送風(fēng)機(jī)將有機(jī)廢氣送人高溫轉(zhuǎn)輪裝置進(jìn)行吸附。高溫轉(zhuǎn)輪分為前后二室，并裝有一個(gè)大轉(zhuǎn)盤，轉(zhuǎn)盤上裝有紙質(zhì)活性炭過濾器。有機(jī)廢氣過濾和吸附后排人大氣中，吸附后的轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)入另一室內(nèi)，通入150。C左右的熱空氣進(jìn)行解吸附，解吸附出來的濃縮氣體通過過濾器、冷凝器、加熱器、G—AC過濾器等設(shè)備，被濃縮氣體送風(fēng)機(jī)送人顆粒活性炭吸附筒處理，吸附后排放于大氣中。吸附筒的活性炭通過水蒸氣及壓縮空氣控制吸附桶上下?lián)醢鍎?dòng)作來完成解吸附，解吸附后的水蒸氣經(jīng)冷凝后變成濃縮液回收。此流程設(shè)計(jì)的有機(jī)廢氣含異丙醇、醋酸丁脂、二甲基亞砜、苯類等，有機(jī)氣體濃度為65ppm，經(jīng)高溫轉(zhuǎn)輪裝置處理，平均去除率可達(dá)90％以上，排放到大氣中的有機(jī)氣體濃度小于6．5ppm，濃縮氣體的體積約為原廢氣的1／15左右，濃度為原廢氣的12～13倍左右，活性碳吸附裝置平均去除率可達(dá)95％以上。實(shí)際數(shù)據(jù)表明其非甲烷總烴排放濃度為1．55—90mg／m，排放速率為0．010～0．155kg／h，均能達(dá)到相應(yīng)的排放標(biāo)準(zhǔn)。其運(yùn)行處理效果良好。

    沸石濃縮轉(zhuǎn)輪焚燒法也是目前被集成電路企業(yè)所廣泛采用的有機(jī)氣體處理方法。有機(jī)廢氣進(jìn)入沸石轉(zhuǎn)輪，轉(zhuǎn)輪上的沸石吸附了廢氣中大部份有機(jī)成分，而使廢氣中有機(jī)成分的含量大幅低降低而成為較干凈的空氣，一部分較干凈的氣體排放至大氣中，而另一部份氣體則進(jìn)入再生區(qū)，經(jīng)再生區(qū)后的廢氣則含有高濃度的有機(jī)成分，這樣可降低后續(xù)處理程序的操作成本。利用沸石濃縮轉(zhuǎn)輪將大風(fēng)量低濃度的廢氣濃縮為小風(fēng)量高濃度，再以直熱式(燃?xì)馐椒倩姆绞剑瑢⒂袡C(jī)成分轉(zhuǎn)化為無害的CO：和水，以達(dá)到去除有機(jī)物的目的。沸石轉(zhuǎn)輪濃縮燃燒系統(tǒng)的特點(diǎn)是可以進(jìn)行動(dòng)態(tài)吸附和解析，不存在吸附劑的飽和問題，適當(dāng)?shù)恼{(diào)整轉(zhuǎn)輪的轉(zhuǎn)速，再生溫度、風(fēng)量等，可得到相當(dāng)良好的效果，對于有機(jī)成分的去除率在90％左右，濃縮倍數(shù)可達(dá)5-20。